An oxygen tracer study of InP oxidation

Oxidation takes place at the oxide surface by outward migration of In and P rather than at the InP-oxide interface.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1992-03, Vol.139 (3), p.799-802
Hauptverfasser: LIU, X, DENKER, M. S, IRENE, E. A
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Oxidation takes place at the oxide surface by outward migration of In and P rather than at the InP-oxide interface.
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2069305