The implementation of the power law model in silicon oxidation process simulation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1992-05, Vol.21 (5), p.523-532
Hauptverfasser:	ZHI-MIN LING, DUPAS, L. H, DE MEYER, K. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Mechanical and acoustical properties adhesion Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Solid-fluid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Article abstract not available.
ISSN:	0361-5235 1543-186X
DOI:	10.1007/BF02655620