Preparation and electrical properties of MOCVD-deposited PZT thin films

Strongly [001] oriented lead zirconate-titanate [Pb(ZrxTi1−x)O3] thin films with tetragonal structure (0

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1991-06, Vol.69 (12), p.8352-8356
Hauptverfasser: SAKASHITA, Y, ONO, T, SEGAWA, H, TOMINAGA, K, OKADA, M
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Strongly [001] oriented lead zirconate-titanate [Pb(ZrxTi1−x)O3] thin films with tetragonal structure (0
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.347397