Enhancement of ferroelectricity and homogeneity of orthorhombic phase in Hf0.5Zr0.5O2thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nanotechnology 2021-08, Vol.32 (33)
Hauptverfasser:	Zou, Zhengmiao, Tian, Guo, Wang, Dao, Zhang, Yan, Wang, Jiali, Li, Yushan, Tao, Ruiqiang, Fan, Zhen, Chen, Deyang, Zeng, Min, Gao, Xingsen, Dai, Ji-Yan, Lu, Xubing, Liu, J-M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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