Diagnostics of low-frequency CH4 and H2 discharge by optical emission spectroscopy

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Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 1989-09, Vol.22 (9), p.1281-1287
Hauptverfasser:	Kokubo, T, Tochikubo, F, Makabe, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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