Fabrication of TiO2-based broadband single-layer anti-reflection coating by collimated glancing angle deposition technique
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Veröffentlicht in: | Nanotechnology 2021-06, Vol.32 (24), p.245708-245708 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1361-6528 |
DOI: | 10.1088/1361-6528/abeb98 |