High-resolution soft lithography of thin film resists enabling nanoscopic pattern transfer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Soft matter 2008-01, Vol.4 (1), p.168-176
Hauptverfasser:	Moran, Isaac W., Cheng, Dalton F., Jhaveri, Sarav B., Carter, Kenneth R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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