Ultralow Water Permeation Barrier Films of Triad a-SiNx:H/n-SiOxNy/h-SiOx Structure for Organic Light-Emitting Diodes
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Veröffentlicht in: | ACS applied materials & interfaces 2020-07, Vol.12 (28), p.32106-32118 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng ; jpn |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1944-8252 |
DOI: | 10.1021/acsami.0c05858 |