Catalyst-Free Growth of Two-Dimensional BCxN Materials on Dielectrics by Temperature-Dependent Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied materials & interfaces 2020-07, Vol.12 (29), p.33113-33120
Hauptverfasser:	Yi, Kongyang, Jin, Zhepeng, Bu, Saiyu, Wang, Dingguan, Liu, Donghua, Huang, Yamin, Dong, Yemin, Yuan, Qinghong, Liu, Yunqi, Wee, Andrew Thye Shen, Wei, Dacheng
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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