Deposition and microhardness of SiC from the Si2Cl6-C3H8-H2-Ar system

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials science 1986-04, Vol.21 (4), p.1363-1367
Hauptverfasser:	MOTOJIMA, S, IWAMORI, N, HATTORI, T, KUROSAWA, K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Building materials. Ceramics. Glasses Chemical industry and chemicals Exact sciences and technology Refractory products Special refractories
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!