Atomic Layer Deposition of GexSe1-x Thin Films for Endurable Ovonic Threshold Selectors with a Low Threshold Voltage

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied materials & interfaces 2020-05, Vol.12 (20), p.23110-23118
Hauptverfasser:	Yoo, Chanyoung, Kim, Woohyun, Jeon, Jeong Woo, Park, Eui-Sang, Ha, Manick, Lee, Yoon Kyeung, Hwang, Cheol Seong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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