Reaction of fluorine atoms with SiO sub 2

The heterogeneous reaction of F atoms with SiO sub 2 (thermal oxide) was measured using a discharge-flow tube technique. I. G.

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1979-01, Vol.50 (10), p.6211-6213
Hauptverfasser:	Flamm, D L, Mogab, C J, Sklaver, E R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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