Reaction of fluorine atoms with SiO sub 2

Reaction of fluorine atoms with SiO sub 2

The heterogeneous reaction of F atoms with SiO sub 2 (thermal oxide) was measured using a discharge-flow tube technique. I. G.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1979-01, Vol.50 (10), p.6211-6213
Hauptverfasser: Flamm, D L, Mogab, C J, Sklaver, E R
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:The heterogeneous reaction of F atoms with SiO sub 2 (thermal oxide) was measured using a discharge-flow tube technique. I. G.
ISSN:0021-8979