Ultrathin ZrOx-Organic Hybrid Dielectric (EOT 3.2 nm) via Initiated Chemical Vapor Deposition for High-Performance Flexible Electronics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied materials & interfaces 2019-11, Vol.11 (47), p.44513-44520
Hauptverfasser:	Kim, Min Ju, Pak, Kwanyong, Choi, Junhwan, Lee, Tae In, Hwang, Wan Sik, Im, Sung Gap, Cho, Byung Jin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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