Electron Beams for Making Microcircuits

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	New scientist (1971) 1978-06, Vol.78 (1108), p.815-817
1. Verfasser:	Kewney, G
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0262-4079