$Measurement of the thickness and refractive index of very thin films and the optical properties of surfaces by ellipsometry$

Measurement of the thickness and refractive index of very thin films and the optical properties of surfaces by ellipsometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of research of the National Bureau of Standards. Section A. Physics and chemistry 1963-07, Vol.67A (4), p.363-377
Hauptverfasser:	McCrackin, Frank L., Passaglia, Elio, Stromberg, Robert R., Steinberg, Harold L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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