Ellipsometric Measurements on Ta and Tantalum Oxide Films and Variation of the Optical Constants With Structure

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Thin solid films 1977-04, Vol.42 (1), p.91-96
Hauptverfasser:	Aguado-Bombin, R M, Neal, W E J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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