Silicon Oxidation Studies: Analysis of SiO2 Film Growth Data

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1976-09, Vol.123 (9), p.1380-1384
Hauptverfasser:	Irene, E. A., van der Meulen, Y. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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