Chemical non-uniformity of thin dielectric films produced by ammonolysis of monosilane

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Thin solid films 1976-09, Vol.37 (2), p.L39-L42
Hauptverfasser:	Belyi, V.I., Kuznetsov, F.A., Smirnova, T.P., Chramova, L.V., Kravchenko, L.Kh
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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