Calculation of Secondary Defect Formation at Ion Implantation of Si

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1976-09, Vol.37 (1), p.57-64
Hauptverfasser:	Morozov, N P, Tetelbaum, D I, Pavlov, P V, Zorin, E I
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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