Tertiary Defects in P-Implanted Si

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1975-10, Vol.27 (8), p.427-429
Hauptverfasser:	Tamura, M, Yoshihiro, N, Ikeda, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0003-6951