Investigation of Ge Films and Ge/Si Interface Structure by Transmission Electron Microscopy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Thin solid films 1975-11, Vol.30 (1), p.73-82
Hauptverfasser:	Aseev, A L, Vasin, O I, Stenin, S I, Soldatenko, N N, Tkhorik, Y U A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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