Electromigration Effects in Al Alloy Metallization
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Veröffentlicht in: | Journal of electronic materials 1974-05, Vol.3 (2), p.531-552 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0361-5235 |