Photostimulated desorption in laser-assisted etching of silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review letters 1988-10, Vol.61 (16), p.1871-1874
1. Verfasser:	HOULE, F. A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Mechanical and acoustical properties adhesion Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Solid-fluid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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