Gas-Surface Dynamics and Profile Evolution during Etching of Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review letters 1996-09, Vol.77 (14), p.3049-3052
Hauptverfasser:	Hwang, GS, Anderson, CM, Gordon, J, Moore, TA, Minton, TK, Giapis, KP
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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