Solid-phase crystallization kinetics in doped a-Si chemical-vapor-deposition films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter Condensed matter, 1985-03, Vol.31 (6), p.3568-3575
Hauptverfasser:	BISARO, R, MAGARINO, J, ZELLAMA, K, SQUELARD, S, GERMAIN, P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Equations of state, phase equilibria, and phase transitions Exact sciences and technology Physics Specific phase transitions
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