Production of large O-containing neutral hydrocarbon species by a CH4-O2 microwave discharge

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Veröffentlicht in:Physical review. E, Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics Statistical physics, plasmas, fluids, and related interdisciplinary topics, 1994-01, Vol.49 (1), p.657-662
Hauptverfasser: Fujii, T, Syouji, Ki
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1063-651X
DOI:10.1103/PhysRevE.49.657