Metastable effects in hydrogenated amorphous silicon-silicon nitride multilayers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physical review. B, Condensed matter Condensed matter, 1990-12, Vol.42 (18), p.11862-11868
Hauptverfasser: Song, YH, Eun, CC, Lee, C, Jang, J
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0163-1829
1095-3795
DOI:10.1103/PhysRevB.42.11862