Extended x-ray-absorption fine-structure study of the local atomic structure in As+ heavily implanted silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter Condensed matter, 1992-10, Vol.46 (15), p.9434-9445
Hauptverfasser:	ALLAIN, J. L, REGNARD, J. R, BOURRET, A, PARISINI, A, ARMIGLIATO, A, TOURILLON, G, PIZZINI, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Doping and impurity implantation in iii-v and ii-vi semiconductors Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
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