Laser polishing and laser form correction of fused silica optics

With laser polishing, the roughness of ground glass surfaces can be significantly reduced. With process speeds up to 1 cm2/s independent of the processed surface shape, the resulting roughness is already sufficient for illumination optics. To further reduce the roughness, the polishing process itsel...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 2015-07, Vol.46 (7), p.668-674
Hauptverfasser:	Heidrich, S., Willenborg, E., Weingarten, C., Temmler, A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	form correction Formkorrektur Fused silica Glas Glass Grounds Illumination Laser Lasers Polieren Polishing Roughness
Online-Zugang:	Volltext
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