25th anniversary article: CVD polymers: a new paradigm for surface modification and device fabrication

Well-adhered, conformal, thin (

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Advanced materials (Weinheim) 2013-10, Vol.25 (38), p.5392-5423
Hauptverfasser:	Coclite, Anna Maria, Howden, Rachel M, Borrelli, David C, Petruczok, Christy D, Yang, Rong, Yagüe, Jose Luis, Ugur, Asli, Chen, Nan, Lee, Sunghwan, Jo, Won Jun, Liu, Andong, Wang, Xiaoxue, Gleason, Karen K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry - methods Fluorine - chemistry Gases - chemistry Humans Polymerization Polymers - chemistry Surface Properties Volatilization
Online-Zugang:	Volltext
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