Low open-area endpoint detection using a PCA-based T2 statistic and Q statistic on optical emission spectroscopy measurements

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2000-05, Vol.13 (2), p.193
Hauptverfasser:	White, D.A, Goodlin, B.E, Gower, A.E, Boning, D.S, Chen, H, Sawin, H.H, Dalton, T.J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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