Guest editorial special section on issues related to semiconductor manufacturing at technology nodes below 70 nm

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2002-05, Vol.15 (2), p.133-136
Hauptverfasser:	Singh, R., Doering, R.R., Koike, H., Kinam Kim, Heyns, M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Capacitors CMOS technology Conferences Metrology MOSFETs Paper technology Random access memory Semiconductor device manufacture Silicon on insulator technology Voltage
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