Generation of Periodic Micro- and Nano-structures by Parameter-Controlled Three-beam Laser Interference Technique

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of laser micro nanoengineering 2011-03, Vol.6 (1), p.49-53
1. Verfasser:	Beckemper, Stefan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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