Hotplate-based monolithic CMOS microsystems for gas detection and material characterization for operating temperatures up to 500°C

Two monolithic CMOS microsystems for gas detection and material characterization fabricated in industrial 0.8-μm CMOS technology combined with post-CMOS micromachining are presented.

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE journal of solid-state circuits 2004-07, Vol.39 (7), p.1202
Hauptverfasser:	Barrettino, D, Graf, M, Song, Wan Ho, Kirstein, K.-U, Hierlemann, A, Baltes, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Sensors
Online-Zugang:	Volltext
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