A Temperature-Stable Film Bulk Acoustic Wave Oscillator
This letter reports a passively temperature-compensated CMOS oscillator utilizing a film bulk acoustic resonator. The resonator exhibiting an f ldr Q product of 2-4 X 10 12 s -1 is composed of molybdenum, aluminum nitride, and a compensation material that has a positive temperature coefficient of Yo...
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Veröffentlicht in: | IEEE electron device letters 2008-04, Vol.29 (4), p.315-318 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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