Use of a high-work-function Ni electrode to improve the stress reliability of analog SrTiO3 metal-insulator-metal capacitors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE electron device letters 2007-08, Vol.28 (8), p.694-696
Hauptverfasser:	CHIANG, K. C, CHENG, C. H, JHOU, K. Y, PAN, H. C, HSIAO, C. N, CHOU, C. P, MCALISTER, S. P, CHIN, Albert, HWANG, H. L
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Compound structure devices Dielectric, amorphous and glass solid devices Electronics Exact sciences and technology Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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