New selective anodization process for Nb Josephson junction with AlOx barrier

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on applied superconductivity 2005-06, Vol.15 (2), p.98-101
Hauptverfasser:	MOROHASHI, Shinichi, IKUTA, Michiaki, MIYOSHI, Tatsuya, MATSUMOTO, Daiki, ARIYOSHI, Seiichiro, UKIBE, Masahiro, OHKUBO, Masataka, MATSUO, Hiroshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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