Recessed 70-nm Gate-Length AlGaN/GaN HEMTs Fabricated Using an [Formula Omitted] Dielectric Layer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2009-09, Vol.30 (9), p.913
Hauptverfasser: Kim, Donghyun, Kumar, V, Lee, Jaesun, Yan, Minjun, Dabiran, A.M, Wowchak, A.M, Chow, P.P, Adesida, I
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0741-3106
1558-0563
DOI:10.1109/LED.2009.2027037