Fabrication and Properties of [Formula Omitted] Structure for Ferroelectric DRAM (FEDRAM) FET

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE electron device letters 2009-05, Vol.30 (5), p.463
Hauptverfasser:	Xie, Dan, Zang, Yongyuan, Luo, Yafeng, Ren, Tianling, Liu, Litian
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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