Packaged photonic probes for an on-wafer broad-band millimeter-wave network analyzer

We report the fabrication of integrated and packaged active photonic probes that enable on-wafer measurements of electrical scattering parameters with a bandwidth exceeding 300 GHz. The probes use a high-speed uni-traveling-carrier photodiode (UTC-PD) to optically generate the electrical stimulus an...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE photonics technology letters 2000-09, Vol.12 (9), p.1225-1227
Hauptverfasser:	Sahri, N., Nagatsuma, T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Bandwidth Electric variables measurement High speed High speed optical techniques Micro-optics Millimeter wave measurements Millimeter wave technology Networks Optical device fabrication Optical scattering Packaging Photodiodes Photonics Probes Sampling Scattering Scattering parameters
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