Effect of porosity on electrical stability of hydrocarbon polymeric low-k dielectric

The incorporation of nanometer pores into a low-dielectric constant (low-k) aromatic hydrocarbon polymer significantly degrades the electrical characteristics and breakdown strength of the material. Enhanced electric field in the pores increases the probability of bond breakage on the pore walls and...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 2005-10, Vol.52 (10), p.2333-2336
Hauptverfasser:	Yiang, K.Y., Yoo, W.J., Krishnamoorthy, A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Bonding strength Breakage Breakdown Conduction mechanism Dielectric films Dielectrics Electric breakdown Electronics Exact sciences and technology Hydrocarbons low Materials Porosity Stability Strength Walls
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