Impact of Shear Strain and Quantum Confinement on (110) Channel nMOSFET With High-Stress CESL

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Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2008-10, Vol.55 (10), p.2632-2640
Hauptverfasser: TAKASHINO, Hiroyuki, OKAGAKI, Takeshi, INOUE, Yasuo, UCHIDA, Tetsuya, HAYASHI, Takashi, TANIZAWA, Motoaki, TSUKUDA, Eiji, EIKYU, Katsumi, WAKAHARA, Shoji, ISHIKAWA, Kiyoshi, TSUCHIYA, Osamu
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/TED.2008.2003094