Impact of Shear Strain and Quantum Confinement on (110) Channel nMOSFET With High-Stress CESL
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on electron devices 2008-10, Vol.55 (10), p.2632-2640 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0018-9383 1557-9646 |
DOI: | 10.1109/TED.2008.2003094 |