Determination of Work Functions in the [Formula Omitted] Advanced Gate Stack Using Combinatorial Methodology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2008-10, Vol.55 (10), p.2641
Hauptverfasser: Kao-Shuo Chang, Kao-Shuo Chang, Green, M.L, Hattrick-Simpers, J.R, Takeuchi, I, Suehle, J.S, Celik, O, De Gendt, S
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/TED.2008.2003091