High‐Resolution Patterning of Conductive Microstructures by Electrostatic Deposition of Aerosol Au Nanoparticles through the Dielectric Mask

A new approach of electrostatically focusing nanoparticles through an electrical tape mask to form narrow

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Veröffentlicht in:Physica status solidi. PSS-RRL. Rapid research letters 2024-05, Vol.18 (5), p.n/a
Hauptverfasser: Efimov, Alexey, Patarashvili, Anton, Maslennikov, Dmitry, Davydov, Vladislav, Kornyushin, Denis, Ghorbani Fard, Mohammad Reza, Labutov, Dmitry, Torgunakov, Vitaly, Zebreva, Margarita, Ivanov, Victor
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:A new approach of electrostatically focusing nanoparticles through an electrical tape mask to form narrow
ISSN:1862-6254
1862-6270
DOI:10.1002/pssr.202300492