Teil 18: Einige nützliche Hinweise zum Arbeiten im Hochvakuum und Ultra‐Hochvakuum

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2023-04, Vol.35 (2), p.42-45
1. Verfasser: Voss, Gerhard
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.202370208