Piezoelectric thin films for MEMS

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2023-02, Vol.122 (9)
Hauptverfasser:	Kanno, Isaku, Ouyang, Jun, Akedo, Jun, Yoshimura, Takeshi, Malič, Barbara, Muralt, Paul
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied physics Piezoelectricity Thin films
Online-Zugang:	Volltext
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