A Study of Complex Defect Formation in Silicon Doped With Nickel
The behavior of nickel and hydrogen impurities in silicon is studied by the methods of deep-level transient spectroscopy (DLTS) and Raman spectroscopy. It is shown that the vibrations of Ni and H atoms in Si are in the range of 925–985 cm –1 . The DLTS spectra in n - and p -type silicon doped with N...
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Veröffentlicht in: | Russian physics journal 2023, Vol.65 (9), p.1559-1563 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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