Precision Three-Axis Positioning Stage in Compact Size Employing Miniature Actuators

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering 2022/09/05, Vol.88(9), pp.668-672
1. Verfasser:	SHIMIZU, Yuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	Actuators Cr-N strain-gauge sensor displacement sensor miniature actuator precision positioning stage system Three axis
Online-Zugang:	Volltext
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