Etching Dynamics of Geometrically Confined Silicon Nanostructure

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2022-08, Vol.28 (S1), p.126-127
Hauptverfasser:	Koo, Kunmo, Chang, Joon Ha, Ji, Sanghyeon, Choe, Jacob, Shin, Seungmin, Lee, Geun-Taek, Kim, Tae-Hong, Yuk, Jong Min
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical Sciences Symposia Beyond Visualization with In Situ and Operando TEM Etching
Online-Zugang:	Volltext
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